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微传感器:原理、技术及应用.章吉良,周勇,戴旭涵.高清文字版

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本书详细介绍了各类机械微传感器,热微传感器,磁微传感器,辐射和光微传感器,声微传感器,化学和生物微传感器,集成、智能和灵巧传感器,微传感器阵列和微传感器网络的工作原理、制备技术和应用,重点介绍了各类传感器的最新发展动态,特别是传感器的小型化、集成化、阵列化、多功能化、智能化、系统化和网络化的情况。本书可作为研究生教材,也可供从事传感器工作的教学、科研和工程技术人员参考。


目录:
第1章绪 论12
第2章机械微传感器38
第3章热微传感器67
第4章磁微传感器100
第5章 光微传感器与辐射微传感器145
第6章声波微传感器185
第7章化学生物微传感器228
第8章 集成传感器、智能传感器及灵巧传感器252
第9章 微传感器阵列及微传感器网络304



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